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首頁>解決方案>半導體分析>金屬污染物在線監測

金屬污染物在線監測

萊伯泰科的 ICP-MS 產品可與多家供應商的自動化在線半導體制程化學品監測系統集成。在化學品供應中心、分配過程以及使用過程中，對制程化學品中的金屬雜質進行監測。實時在線監測能夠在工藝的各階段迅速檢測到金屬污染，從而完成快速評估正等待從貯罐卸載的化學品的質量的檢測和生產需求。

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